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常見的半導(dǎo)體晶圓(Wafer)量測方法
1.晶圓缺陷粒子檢測系統(tǒng)顆粒和缺陷:顆粒和缺陷導(dǎo)致晶圓表面不規(guī)則形貌。散射入射光:通過檢測散射光來監(jiān)測顆粒和缺陷。晶圓缺陷檢測系統(tǒng)可以通過獲取缺陷的(X,Y)坐標(biāo)來檢測晶圓上的物理缺陷(顆粒)和圖案缺...
2024-05-27
了解半導(dǎo)體測試必備的三大設(shè)備:測試機(jī)、分選機(jī)、探針臺
半導(dǎo)體量測檢測,主要包含:一、三大方向1、Metrology2、Defectinspection3、Review二、八種分類Metrology包含4種分類、De......
2024-05-27
半導(dǎo)體IGBT在高功率環(huán)境中散熱方法
絕緣柵雙極晶體管(insulatedgatebipolartransistor,IGBT)是新能源轉(zhuǎn)換系統(tǒng)和高壓電源開關(guān)裝置中的關(guān)鍵部件,也是大功率半導(dǎo)體中具有......
2024-05-27
如何正確認(rèn)知半導(dǎo)體功率器件動態(tài)測試參數(shù)
我們在選購功率器件動態(tài)參數(shù)測試系統(tǒng)時(shí),都會先基于各設(shè)備廠商提供的參數(shù)手冊給出的信息進(jìn)行對比評價(jià),選出備選設(shè)備再進(jìn)行實(shí)測驗(yàn)證,最后綜合成本、測試能力范圍、實(shí)測結(jié)果......
2024-05-27
常見的半導(dǎo)體晶圓(Wafer)量測方法
1.晶圓缺陷粒子檢測系統(tǒng)顆粒和缺陷:顆粒和缺陷導(dǎo)致晶圓表面不規(guī)則形貌。散射入射光:通過檢測散射光來監(jiān)測顆粒和缺陷。晶圓缺陷檢測系統(tǒng)可以通過獲取缺陷的(X,Y)坐......
2024-05-27
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